近日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所碳基薄膜与涂层技术研究团队自主研制的系列高离化磁控溅射镀膜仪，通过专家评审遴选，被纳入《中国科学院自主研制科学仪器2022》产品名录，通过《中国科学院院刊》平台出版并进行了重点展示。

 “工欲善其事，必先利其器”。科学仪器是科技创新的重要基础，是新材料重大科学发现和技术突破的重要保障。加强高端科研仪器设备研发制造，实现高水平科技自立自强，科学仪器自主研制是应有之义。表面工程作为一门交叉学科，发展方兴未艾。基于真空等离子体放电技术制备的薄膜和涂层材料，应用广阔，不仅是信息、生命、能源等领域核心器件微型化、功能化、集成化、柔性化的关键材料技术，更是解决空天、海洋、制造等装备系统表面抗磨损、耐腐蚀、抗氧化服役性能不足的核心保障。然而，我国当前大部分高端镀膜装备仪器还依赖进口、关键部件往往受制于人，难以支撑重大原创成果产出。

中科院宁波材料所碳基薄膜与涂层技术研究团队多年来一直致力于表面强化涂层与功能改性技术研究，同时非常重视PVD涂层装备的自主研发，在核心放电源模块、成套系统等方面取得了系列重要成果。团队搭建了探针、光谱、质谱原位诊断平台，建立了高离化等离子体放电基础理论，研制出8套高离化大面积稳定放电PVD复合镀膜仪，发展了非晶碳基和MAX相为主的防护涂层技术，支撑了深海、核电、航空等高技术装备发展。团队自2008年起先后承担4项中科院装备研制和修购科研任务，形成涂层材料-工艺-装备-应用的授权发明专利69件，有关高离化装备制备多元金属掺杂碳基复合涂层专利获2021年度宁波市高价值专利大赛金奖，相关涂层技术应用成果获2020年度宁波市科技进步一等奖。

此次出版《中国科学院院刊》专刊由中国科学院条件保障与财务局指导推进，主要从数理与天文科学、化学与材料科学、信息与工程科学、地球与环境科学、生命与医学科学5个领域，遴选出拥有自主知识产权、技术成熟度高、具有重要应用推广价值的核心仪器产品，编制成产品名录进行重点展示，供广大科技工作者、相关部门和企业等参考。

【期刊链接】：http://www.bulletin.cas.cn/zgkxyyk/ch/reader/issue_list.aspx?year_id=2022&quarter_id=Z1