主要科研设备
朗格缪尔探针系统
发布日期:2015-02-11
型 号:LP-500
生产商:Impedans Ltd, 爱尔兰
负责人:陈仁德
电 话:0574-86685036
主要参数:
► 悬浮电位(Vf):-145V to 145V
► 等离子体电位(Vp):-100V to 145V
► 等离子体密度(Ne):108 to 3x1012 cm-3
► 离子电流密度 (Ni):1uA/cm2 -30mA/cm2
► 电子温度(kTe):0.1 to 15eV
► 电子能量分布函数 (EEDF):0-100eV
► 电压扫描范围:-150V to +150V
► 电流扫描范围:15nA to 150mA
► 采样速率:80 MSPS (V,I)
► 获取数据分辨率:4.5mV,100pA
用途:
朗格缪尔探针系统主要用于等离子体辉光放电诊断。
生产商:Impedans Ltd, 爱尔兰
负责人:陈仁德
电 话:0574-86685036
主要参数:
► 悬浮电位(Vf):-145V to 145V
► 等离子体电位(Vp):-100V to 145V
► 等离子体密度(Ne):108 to 3x1012 cm-3
► 离子电流密度 (Ni):1uA/cm2 -30mA/cm2
► 电子温度(kTe):0.1 to 15eV
► 电子能量分布函数 (EEDF):0-100eV
► 电压扫描范围:-150V to +150V
► 电流扫描范围:15nA to 150mA
► 采样速率:80 MSPS (V,I)
► 获取数据分辨率:4.5mV,100pA
用途:
朗格缪尔探针系统主要用于等离子体辉光放电诊断。
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