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课题组成员参加TFC’13全国薄膜技术学术研讨会
日期:2013-10-16, 查看:1901

 

10月13至16日,由中国真空学会薄膜专业委员会主办的TFC'13全国薄膜技术学术研讨会在宁波举行,会议旨在为真空薄膜领域的科学家和学者们提供相互交流的机会。课题组的博士研究生郭鹏,硕士研究生夏飞,周凯,李小婵,许世鹏参加了此次会议。

此次大会上,柳百新院士,王立平研究员等分别作了做了题为“非晶态合金形成的薄膜实验研究和原子尺度理论”,“碳基摩擦学薄膜表/界面行为及调控”的特邀报告。此次参会,青年科研人员拓宽了学术视角,更好的获悉真空薄膜技术发展的新动态。

会议上,郭鹏,夏飞,周凯,李小婵,许世鹏分别在分会上作了题为“W掺杂类金刚石薄膜的结构和性能研究”,“高功率脉冲磁控溅射制备CrN薄膜”,“PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的结构和电化学性能”,“新型高功率脉冲磁控溅射放电特性及沉积钛薄膜的研究”和“不同碳源入射角下超薄四面体非晶碳膜的残余应力”的口头报告。主要介绍了课题组在类金刚石薄膜,CrN薄膜,以及高功率脉冲磁控溅射技术方面的研究进展,引起了与会代表的强烈兴趣,并在报告后进行了深层的交流。其中,郭鹏的口头报告获得了优秀论文奖。

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